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流化床反应炉法是美国联合碳化合物公司早年研发的多晶硅制名备工艺技术。该方法以sicl4、H2、 HCI和工业硅为原料，在高温高压流化床内(沸腾床)生成SiH2Cl2,再将SiHCL3,进一步歧化加氢反应生成SiH2CL2继而生成硅烷气。制得的硅烷气通人加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅产品。因为在流化床反应炉内参与反应的硅表面积大，所以该方法生产效率高、电耗低、成本低。该方法的缺点是安全性差，存在危险性，另外产品的纯度不高,不过基本能满足太阳电池生产的要求。因此，该方法比较适合大规模生产廉价太阳能级多晶硅。
目前，采用该方法生产颗粒状多晶硅的公司包括美国MEMC公司、挪威可再生能源公司( REC)、德国威克公司( Wacker)等。特别是REC公司，它以硅烷气为原料，利用流化床反应器用闭环绿色工艺制备颗粒状多晶硅，纯度甚至接近电子级硅，而且基本不产生副产品和废弃物，这一特有zhuanli技术使得REC在全球太阳能行业中处于独无的地位。
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