太阳能板厂家-源扩散制结制作工艺

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　　①将扩散炉预先升温至扩散温度(800～950℃)，通入大流量的氮气(500～30000m/min)，驱除管道内的气体。如果是新处理的石英管，还要接着通含有POCI,的氮气(500 ～5000mL min)和氧气(500 ～5000mL/min)，使石英管壁吸收至饱和状态。

　　②取出经过表面准备的硅片，装入石英舟，推入恒温区，在大流量的氮气(500～5000mL/min)保护下预热若干分钟。

　　③通入含有POCI3,的氮气，氮气流量为500～3000ml/ min,氧气流量为 500 ～300ml/ min,通源时间为15 ～60min。

　　④失源(即停止通含有POCl3,的氮气和氧气)，然后通大流量氮气若干分钟，以驱走残存在管道内的源蒸气。

　　固态氮化硼源扩散通常采用片状氮化硼作源，在氮气保护下进行扩散。片状氮化硼的制作方法有两种:可用高纯氮化硼棒切割成和硅片一样大小的薄片，也可用粉状氨化硼冲压成片。扩散前,氮化硼片预先在扩散温度下通氧气30min,使氮化硼表面的三氧化二硼与硅发生反应，形成硼硅玻璃沉积在硅表面，硼向硅内部扩散。扩散炉内的氮气流量较低时，可使扩散更为均匀。